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微电子与微光刻技术

微电子 微光刻 共16课时 6小时37分56秒
讲师简介
陈宝钦 1966年9月毕业于北京大学物理系半导体专业;1968年7月中国科学院半导体研究所工作; 1985年9月中国科学院微电子研究所工作;兼职中国科学院研究生院教授,中国电子学会高级会员,北京半导体专业委员会委员、制版分会主任,全国半导体设备与材料标准化技术委员会副主任委员、微光刻分委会主任委员,全国纳米技术标准化技术委员会微纳加工技术工作组副秘书长,光学微细加工国家重点实验室学术委员会副主任委员。

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