课程介绍
相关标签: MEMS 清华 集成传感器 朱荣
微机电系统是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanic System)是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料,因此从制造技术本身来讲,MEMS中 基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工,并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。

微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米级,自八十年代中后期崛起以来发展极其迅速,被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域,将成为21世纪新的国民经济增长点和提高军事能力的重要技术途径。

微 机电系统的优点是:体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等优点。微机电系统的出现和发展是科学创新思维的结果,使微观尺度制造技术的演进与革命。微机电系统是当前交叉学科的重要研究领域,涉及电子工程、材料工程、机械工程、信息工程等多项科学技术工程,将是未来国民经济和军事科研领域的新增长点。

MEMS(微机电系统)最初大量用于汽车安全气囊,而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域,随着MEMS技术的进一步发展,以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点,对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛,消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。

MEMS的特点是:

1)微型化:MEMS器件体积小、重 量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。

2)以硅为主要材料,机械电器性能优良:硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当,密度类似铝,热传导率接近钼和钨。

3)批量生产:用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。

4)集成化:可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体,或形成微传感器阵列、微执行器阵列,甚至把多种功能的器件集成在一起,形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。

5)多学科交叉:MEMS涉及电子、机 械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科,并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。

MEMS发展的目标在于,通过微型化、集成化来探索新原理、新功能的元件和系统,开辟一个新技术领域和产业。MEMS可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务,也可嵌入大尺寸系统中,把自动化、智能化和可靠性水平提高到一个新的水平。21世纪MEMS将逐步从实验室走向实用化,对工农业、信息、环境、生物工程、医疗、空间技术、国防和科学发展产生重大影响。

显示全部 ↓
推荐视频

    猜您喜欢

    推荐帖子

    【树莓派3B+测评】TensorFlow物体识别
    上个帖子[url=https://bbs.eeworld.com.cn/thread-977472-1-1.html]【树莓派3B+测评】OCR字符识别[/url]进行了字符的识别,这次我们对图片中的物体进行识别,需要用到的是TensorFlow深度学习软件包。首先安装tensorflow,一种简单方便的方法是使用下面的命令进行安装:[code]sudo apt-get install libat
    DDZZ669 单片机
    51到TIMCU之MPS430团购资格申请
    本来目前在用51做自己的DIY项目,而且已有多年51使用经验,51简单易学,一般的控制要求也可以满足,相对复杂的功能能从软件上实现也是比较有意思的事情,一直都没有换开发平台。偶遇MPS430团购活动甚是激动,虽然自己使用C2000也有两年多的时间了,但对于TI的430一直没有机会去深入了解,只是默默的关注着。便想何不就此机会扩大自己的学习面,仔细的了解团购活动配置的单片机,很是强悍,在C2000开
    fannian122333 微控制器 MCU
    电感值
    [i=s] 本帖最后由 paulhyde 于 2014-9-15 09:36 编辑 [/i]请问圆柱型电感值怎么读?我有一个蓝色的圆柱电感,规格是11*12附图,顶部写有220字样,请问这是22uH的么还是220H的呀
    suzixxs 电子竞赛
    帖片天线和微带天线的区别?
    哪位高手指点一下 帖片天线和微带天线的区别?表面电流分析的方法可以一样吗?
    dmyang 无线连接
    别傻了(12):老板拿我没办法
    劳动法并不能保护你可能很多人会觉得现在随着法律的完善,特别是随着劳动合同法的修订等,劳动法会保护我们,但是不要对劳动法抱有幻想,它并不能保护我们。因为正所谓“上有政策下有对策”,公司的人事部或外部的人事机构会巧妙的绕过法律,保护公司的利益。举一个例子,从新劳动合同法第39条中明确规定 劳动者有下列情形之一的,用人单位可以解除劳动合同,如“严重违反用人单位的规章制度的”,用人单位的规章制度很多样化,
    Lazy_Boy 工作这点儿事
    谷歌中文搜索恢复“过滤”功能 仍寻求谈判
    [导读]如果按照谷歌所说,将在未来数周内进行谈判,那么至少可以断定Google.cn仍有数周生命,一旦协商进展缓慢,或许要等到三四月份才能揭晓答案。  谷歌否认其中国办事处已关闭 仍将寻求与中国政府谈判  东方早报记者 是冬冬Google.cn仍有数周生命,或许要等到三四月份才能揭晓答案。 CFP 图  自谷歌(Google)宣布计划退出中国市场以及关闭中国办事处后,5天时间里,谷歌没有采取任何实
    shuangshumei 聊聊、笑笑、闹闹

    推荐内容

    热门视频更多

    可能感兴趣器件

    完成课时学习+分/次

     
    EEWorld订阅号

     
    EEWorld服务号

     
    汽车开发圈

     
    机器人开发圈

    About Us 关于我们 客户服务 联系方式 器件索引 网站地图 最新更新 手机版 版权声明

    站点相关: 汽车电子 智能硬件

    北京市海淀区中关村大街18号B座15层1530室 电话:(010)82350740 邮编:100190

    电子工程世界版权所有 京B2-20211791 京ICP备10001474号-1 电信业务审批[2006]字第258号函 京公网安备 11010802033920号 Copyright © 2005-2025 EEWORLD.com.cn, Inc. All rights reserved