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MEMS与微系统
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课程目录
课程笔记
课时1：MEMS的定义
课时2：MEMS的应用领域
课时3：MEMS的发展
课时4：MEMS的发展（续）
课时5：应力和应变
课时6：弹性梁
课时7：弹性梁（续）
课时8：薄板与流体的基本概念
课时9：流体的基本概念（续）
课时10：静电力
课时11：尺寸效应
课时12：MEMS光刻技术
课时13：体微加工技术—各向同性湿法刻蚀
课时14：体微加工技术—各向异性湿法刻蚀
课时15：体微加工技术—各向异性湿法刻蚀（续）
课时16：体微加工技术—干法刻蚀
课时17：体微加工技术—时分复用深刻蚀
课时18：体微加工技术—稳态深刻蚀
课时19：体微加工技术—干法刻蚀设备与应用
课时20：表面微加工技术概述
课时21：表面微加工技术的几个问题
课时22：表面微加工代工工艺
课时23：表面微加工的应用
课时24：厚结构层技术
课时25：键合概述与直接键合
课时26：阳极键合与聚合物键合
课时27：金属键合与键合设备
课时28：工艺集成
课时29：系统集成
课时30：单芯片集成与多芯片集成
课时31：三维集成
课时32：MEMS封装
课时33：MEMS封装(续)
课时34：概述
课时35：压阻传感器
课时36：电容传感器与压电传感器
课时37：谐振传感器与遂穿传感器
课时38：压力传感器
课时39：压阻式压力传感器
课时40：压阻式压力传感器（续）
课时41：电容式压力传感器与谐振式压力传感器
课时42：硅微麦克风
课时43：惯性传感器与加速度传感器概述
课时44：压阻式与电容式加速度传感器
课时45：电容式与热传导式加速度传感器
课时46：微机械陀螺概述
课时47：典型微机械陀螺
课时48：典型微机械陀螺（续）
课时49：模态解耦合
课时50：执行器概述
课时51：静电执行器—平板电容执行器
课时52：静电执行器—平板电容执行器（续）
课时53：静电执行器—叉指电容执行器
课时54：热执行器
课时55：压电执行器和磁执行器
课时56：RF MEMS概述
课时57：MEMS开关I
课时58：MEMS开关II
课时59：MEMS开关III
课时60：MEMS谐振器—梳状谐振器
课时61：MEMS谐振器—板式谐振器
课时62：MEMS谐振器的制造
课时63：光学MEMS概述
课时64：MEMS光开关I
课时65：MEMS光开关II
课时66：影像再现I—反射器件
课时67：影像再现II—衍射器件
课时68：影像再现III—干涉器件
课时69：概述
课时70：软光刻技术
课时71：微流体输运
课时72：微流体输运（续）
课时73：试样处理
课时74：试样处理（续）
课时75：检测技术
课时76：微流体应用
课时77：微流体应用（续）
课时78：概述
课时79：药物释放 神经探针 生物传感器
课时80：可穿戴与可植入微系统
时长：8分40秒
日期：2017/12/15
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上传者：
老白菜
课程介绍
本课程全面介绍MEMS的基础理论、分析设计方法、制造技术、典型产品和器件，尝试通过本课程掌握微型化技术。课程内容包括基础力学与物理学、微加工技术、封装集成技术、
传感器
、执行器、RF MEMS、光学MEMS和BioMEMS与微流体。
课程强调设计与制造相结合、前沿与基础相结合；着重提取基础、重点和共性知识，强调基础理论和制造方法在不同领域的应用，并紧密结合前沿的学术研究和工业界的产品发展动态。
上传者： 老白菜
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