大学堂
简介
微机电系统技术 淡江大学公开课
课程目录
课时1：微机电系统技术简介 (1小时10分19秒)
课时2：半导体制程与设备 (1小时51分32秒)
课时3：矽质微加工1 (1小时21分39秒)
课时4：矽质微加工2 (50分57秒)
课时5：金氧半微机电技术 (1小时7分29秒)
课时6：高深宽比微加工技术 (1小时30分24秒)
课时7：高分子微机电技术1 (1小时7分20秒)
课时8：高分子微机电技术2 (38分8秒)
课时9：微感测器技术1 (49分4秒)
课时10：微感测器技术2 (52分4秒)
课时11：微致动器技术 (49分35秒)
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