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微机电系统技术
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微机电系统技术简介
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课程目录
课程笔记
课时1:微机电系统技术简介
课时2:半导体制程与设备
课时3:矽质微加工1
课时4:矽质微加工2
课时5:金氧半微机电技术
课时6:高深宽比微加工技术
课时7:高分子微机电技术1
课时8:高分子微机电技术2
课时9:微感测器技术1
课时10:微感测器技术2
课时11:微致动器技术
时长:1小时10分19秒
日期:2022/11/25
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MEMS
微机电系统技术 淡江大学公开课
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