|
首页
|
电子技术
|
电子应用
|
电子头条
|
社区
|
论坛
测评
博客
电子技术视频
|
下载
|
电路图
|
参考设计
|
Datasheet
|
活动
|
直播
|
datasheet
datasheet
文章
搜索
中文
En
|
首页
|
电子技术
|
电子产品应用
|
电子头条
|
论坛
|
大学堂
|
下载
|
参考设计
|
Datasheet
|
活动
|
技术直播
|
datasheet
datasheet
文章
搜索
大学堂
上传课程
首页
课程
TI培训
直播频道
专题
相关活动
其他资源
下载中心
电路图
参考设计
您的位置:
EEWORLD大学堂
/
电路基础
/
MEMS与微系统
/
静电执行器—叉指电容执行器
本课程为精品课,您可以登录eeworld继续观看:
静电执行器—叉指电容执行器
登录
播放列表
课程目录
课程笔记
课时1:MEMS的定义
课时2:MEMS的应用领域
课时3:MEMS的发展
课时4:MEMS的发展(续)
课时5:应力和应变
课时6:弹性梁
课时7:弹性梁(续)
课时8:薄板与流体的基本概念
课时9:流体的基本概念(续)
课时10:静电力
课时11:尺寸效应
课时12:MEMS光刻技术
课时13:体微加工技术—各向同性湿法刻蚀
课时14:体微加工技术—各向异性湿法刻蚀
课时15:体微加工技术—各向异性湿法刻蚀(续)
课时16:体微加工技术—干法刻蚀
课时17:体微加工技术—时分复用深刻蚀
课时18:体微加工技术—稳态深刻蚀
课时19:体微加工技术—干法刻蚀设备与应用
课时20:表面微加工技术概述
课时21:表面微加工技术的几个问题
课时22:表面微加工代工工艺
课时23:表面微加工的应用
课时24:厚结构层技术
课时25:键合概述与直接键合
课时26:阳极键合与聚合物键合
课时27:金属键合与键合设备
课时28:工艺集成
课时29:系统集成
课时30:单芯片集成与多芯片集成
课时31:三维集成
课时32:MEMS封装
课时33:MEMS封装(续)
课时34:概述
课时35:压阻传感器
课时36:电容传感器与压电传感器
课时37:谐振传感器与遂穿传感器
课时38:压力传感器
课时39:压阻式压力传感器
课时40:压阻式压力传感器(续)
课时41:电容式压力传感器与谐振式压力传感器
课时42:硅微麦克风
课时43:惯性传感器与加速度传感器概述
课时44:压阻式与电容式加速度传感器
课时45:电容式与热传导式加速度传感器
课时46:微机械陀螺概述
课时47:典型微机械陀螺
课时48:典型微机械陀螺(续)
课时49:模态解耦合
课时50:执行器概述
课时51:静电执行器—平板电容执行器
课时52:静电执行器—平板电容执行器(续)
课时53:静电执行器—叉指电容执行器
课时54:热执行器
课时55:压电执行器和磁执行器
课时56:RF MEMS概述
课时57:MEMS开关I
课时58:MEMS开关II
课时59:MEMS开关III
课时60:MEMS谐振器—梳状谐振器
课时61:MEMS谐振器—板式谐振器
课时62:MEMS谐振器的制造
课时63:光学MEMS概述
课时64:MEMS光开关I
课时65:MEMS光开关II
课时66:影像再现I—反射器件
课时67:影像再现II—衍射器件
课时68:影像再现III—干涉器件
课时69:概述
课时70:软光刻技术
课时71:微流体输运
课时72:微流体输运(续)
课时73:试样处理
课时74:试样处理(续)
课时75:检测技术
课时76:微流体应用
课时77:微流体应用(续)
课时78:概述
课时79:药物释放 神经探针 生物传感器
课时80:可穿戴与可植入微系统
时长:11分51秒
日期:2017/11/28
收藏视频
上传者:老白菜
去评论
课程介绍
相关标签:
MEMS
清华
微系统
王喆垚
本课程全面介绍MEMS的基础理论、分析设计方法、制造技术、典型产品和器件,尝试通过本课程掌握微型化技术。课程内容包括基础力学与物理学、微加工技术、封装集成技术、传感器、执行器、RF MEMS、光学MEMS和BioMEMS与微流体。
课程强调设计与制造相结合、前沿与基础相结合;着重提取基础、重点和共性知识,强调基础理论和制造方法在不同领域的应用,并紧密结合前沿的学术研究和工业界的产品发展动态。
显示全部 ↓
推荐视频
用户评论
暂时无评论
猜您喜欢
推荐帖子
运放电路中电容的作用
请教各位大侠,图中电容C1(39pF)的作用是什么?
xiaxingxing
模拟电子
OK2440开发板上电后进不了系统
求教什么ok2440开发板上电后进不了系统,触摸屏上只有几种颜色在变化。前阶段开发板还可以用的,放了一段时间后怎么会出现上面的问题?我该怎么做?谢谢了
mydrink
嵌入式系统
特殊的 Double 11 ^_^
[font=微软雅黑][size=4]前天看到一个贴子,[/size][/font][font=微软雅黑][size=4][/size][/font][font=微软雅黑][size=4][i]万元示波器8元秒杀链接已放出,快来看秒杀秘籍![/i][/size][/font][url=https://bbs.eeworld.com.cn/forum.php?mod=viewthread&tid=5
tianshuihu
聊聊、笑笑、闹闹
FPGA应用举例
FPGA应用举例
songbo
FPGA/CPLD
USB2.0 学习板原理图(ad文件)
由于我用adobe reader看不了论坛里下的那个电路图,就按照下的说明书上的图画了一个,顺便把原理图库也发上来。有于画的时间比较仓促,有错误的地方请大家多包涵!封装库我有时间再弄!本人用的是designer6.8版本。
fengkb
NXP MCU
毕业设计
这些天,寝室里的朋友们都在忙着做毕业设计,前两天才去逛过超市,今天就又觉得闷了。我们学校的毕业设计要求好严格,不仅要经得住开题、中期、最后三次答辩的考验,论文还要通过检测仪的检测。有已经工作的同学因此请假回来做毕业设计了,大家都不得不在乎了。唐老师的实验室几乎不休息了,晚上也会有同学在,还好,有这么一个实验室可以为我们提供这样一个环境,不然不知道会乱成什么样子,宿舍不给电,教学楼又经常有课。做的累
十一月下雨
聊聊、笑笑、闹闹
推荐内容
热门视频
更多
小米网络收音机连接测试
张掌柜讲28335
Atmel软件框架(ASF)入门(上)
TinyML and Efficient Deep Learning Computing MIT 6.S965 Fall 2022
CES 2015焦点: 小米Mi4无源手写笔演示
TI C2000 Piccolo 单芯片 - 实现双轴伺服电机和马达控制
直播回放: RSL15 - 安森美更高效更智能更安全的 BLE 5.2 蓝牙芯片
英飞凌新能源汽车方案
EZ-BLE PRoC低功耗蓝牙模块介绍
华为认证路由交换工程师在线课程【HCNA】
开源项目推荐
更多
数据采集系统的模拟放大
用于有线网络的 3.3V DC 到 DC 单路输出电源
LT3973EMSE 演示板、42V、750mA 降压型稳压器,具有 2.5uA 静态电流
使用 NXP Semiconductors 的 TDA8020HL/C2 的参考设计
LT3970EMS 2.5V 降压转换器的典型应用
LTM4643MPV 4V 至 20V 输入、四路 0.9V、1V、1.2V 和 1.5V 输出 DC/DC 降压稳压器的典型应用
6路环境光传感器,带基于VD6283的闪烁提取扩展板,用于STM32 Nucleo
T4240RDB: QorIQ
®
T4240 Reference Design Board
具有VFB功能的EP53A7LQI 1A同步降压稳压器典型应用电路
LT3062 的典型应用 - 45V Vin、微功率、低噪声、200mA LDO
热门文章
更多
防爆电机绕组浸漆方法和注意事项
怎样用继电保护测试仪怎么做差动保护试验呢
AMD称准备开发Arm芯片
ECU安全电源中缺失的一环
基于51单片机的八路抢答器设计
大联大世平集团基于onsemi产品的300W超高效能网通电源方案
才明白,为什么2022年智能手机越来越重
呼吸熔喷滤料泄漏性测试仪的步骤介绍
电路图
Qorvo 新增GaN功率放大器
信号仿真用哪个软件比较好?
一种电子管40W扩音机电路图
晶闸管接通式延时电路之四
防止电动机反向启动时短路的保护电路之三
IR2130用于1kw高压汞灯镇流器系统的原理图
HT-12C/HT-6337/A/B/C/D/F电路-a
典型带通滤波器电路
汽车转向、倒车音响电路
KA2302(玩具)无线电遥控接收控制调节电路
LA6520音响IC放大电路图
低噪音与语音前置放大器电路图
激励和给定信号电路
模拟自然风电路(一)
通用变频器的常用配套设备
可编程电流源电路图
应用uA741的稳压电源
秧棚湿度指示器
超声驱虫器
电饭锅电路图纸5_自动保温
汽车用日光灯变换器
AN7149N功放电路
555转、停时间独立可调的定时器电路
555冲击振动报叫器电路
555简单实用的音乐彩灯控制电路
CX20106/CX20106A (电视机)红外线遥控接收前置放大电路
875p电脑主板电路图_003
电脑主板电路图 810 3_32
智能脉冲电动自行车充电器原理图
可能感兴趣器件
1-A-05-048.0-23-A-2
MI-PC2ZK-IY
SN74CBT16244DLRG4
F611JG182M1K0C
Z205130K00BB
JTPS00RE-22-2S(SR)
DC050-T
C1812X7R201-753MN6E
NTH460C3-FREQ
TK11127SI
CRCA12S0803514102R
935254680518
TMM-111-04-FM-D-SM-01-P-M-TR
BLM18EG331TH1J
TW-45-06-L-Q-400-100
VJ1812A561GNXAB
7109MPY4A2RE2
MTMM-126-13-F-D-325
FX-700-DAE-SNKN-ED-JC
77313-102A18
1210J1K20392JXB
M80-4T12605F2-02-321-01-322
T21DLM0701473A2020
PB241D1A13-226
239043247153L
P1206K2940CBPC
PWR4000C
WCR0402-78K7FA
WMO1S-240JA1
3KH36/2CND3
电子工程世界版权所有
京B2-20211791
京ICP备10001474号-1
电信业务审批[2006]字第258号函
京公网安备 11010802033920号
Copyright © 2005-2025 EEWORLD.com.cn, Inc. All rights reserved
用户评论