datasheet

大学堂

您的位置：EEWORLD大学堂 / 电路基础 / MEMS与微系统 / 体微加工技术—时分复用深刻蚀

  • 本课程为精品课，您可以登录eeworld继续观看：
  • 体微加工技术—时分复用深刻蚀
  • 登录
课程目录课程笔记
课程介绍
相关标签： MEMS 清华 微系统 王喆垚
本课程全面介绍MEMS的基础理论、分析设计方法、制造技术、典型产品和器件，尝试通过本课程掌握微型化技术。课程内容包括基础力学与物理学、微加工技术、封装集成技术、传感器、执行器、RF MEMS、光学MEMS和BioMEMS与微流体。
课程强调设计与制造相结合、前沿与基础相结合；着重提取基础、重点和共性知识，强调基础理论和制造方法在不同领域的应用，并紧密结合前沿的学术研究和工业界的产品发展动态。
推荐视频

    猜您喜欢

    推荐帖子

    Cortex M3学习笔记（一）--Systick的应用
    这篇学习笔记，完全是基于《STM32不完全手册》而言的，我没有买Alientek的开发板，买的是ARMFly的，其实都差不多，只不过安福莱的板载资源非常丰富罢了，应用起来其实都差不都。《STM32不完全手册》的51到56页就是要这次笔记学习的内容，请自己参考，我不再粘帖，主要讨论的内容其实就几行：void delay_init(u8 SYSCLK){SysTick-CTRL=0xfffffffb；
    myzone 微控制器 MCU
    SQL如何将数据自动显示到终端
    如何将控制台数据自动分工位显示到终端例: 工位号分为A 、B 、C 、D 、E 、F分别显示到 A 、B 、C 、D 、E 、F 终端
    luffer 嵌入式系统
    环境友好的汽车线路保护层
    当今汽车的配线相当完备。根据Delphi Packard Electric 公司提供的数据，一辆豪华轿车中电线的总长度至少有1.5 英里，全球汽车配线的总长度可达270 亿英尺。 若将一辆豪华轿车的所有电线全部展开，其总长度将会超过1.5英里。并且几乎所有这些电线都由绝缘层保护，这种保护材料已经有三十年的使用历史了。由于具有经济有效的特性，PVC在保护材料领域可谓独领风骚。60％的汽车电线都使用P
    frozenviolet 汽车电子
    WinCE Driver 开发新手问题
    各位大侠：小弟现需在WinCE5.0开发wifi driver，以前完全没有相关经验，完全没有概念，模不着头脑，问题真的很多。感觉微软本身的文档挺混乱的，说的也不怎么具体，大家有没有好的教材？最好可以可以手把手教这个开发过程的啊（第一步做什么，第二步做什么。。。）？包括Platform Builder使用过程，如何与VS结合使用进行开发等等弱智问题。。。或者哪位大侠可以有耐心在这里按步骤说说？还有
    skybright1983 嵌入式系统
    tiva m4 .bin文件烧写进芯片后芯片程序不走
    用的是ti的tm4c123gh6pm评估板，板子自带的bin文件烧写进去板子能工作，自己创建的工程，然后把代码粘贴复制进去后，单步调试以及全速运行都可以，就是自己创建的工程生成的.bin文件烧写进去板子不工作，不知道大家有没有遇到过这样的问题，求大神帮帮忙
    binboy123 微控制器 MCU
    Altium Designer 6 经典教程资料
    收集到很多关于Altium Designer 资料，希望对大家有所帮助。[[i] 本帖最后由 熊猫 于 2010-12-23 20:17 编辑 [/i]]
    熊猫 PCB设计

    推荐文章

    意法半导体扩大在新加坡的“Lab-in-Fab”厂内实验室合作项目， 推进压电MEMS技术的开发应用 2025年05月29日
    新一期厂内实验室合作项目包括与新加坡科技研究局属下材料研究与工程研究所 (A*STAR IMRE) 以及新加坡国立大学 (NUS)的合作项目 此为新加坡半导体行业迄今为止最大的公私研发合作项目之一 专注于推进压电 微电机系统（MEMS） 技术产品在个人电子产品、医疗设备等领域的应用 2025年5月29日， 中国--服务多重电子应用领域、全球排名前列的半导...
    成本持续下探，自动驾驶MEMS组合导航系统迎来新升级？ 2025年05月13日
    完好性是指当定位系统异常、故障或超出误差允许范围限制时，在规定时间内向用户发出告警的能力。它与精度、连续性、可用性一并构成了卫星定位系统的四大核心性能指标。如果定位服务中存在异常、故障或误差超限，但系统未能成功检测该异常或发出告警，则意味着发生了“完好性风险事件”。一旦完好性风险事件发生，它将对用户产生安全威胁，特别是对于民航、海事、铁路等其他与生命安全高度相关的行业。...
    优化导航系统中的MEMS IMU数据一致性和时序 2025年05月08日
    摘要 对于初次尝试评估惯性检测解决方案的人来说，现有的计算和I/O资源可能会限制数据速率和同步功能，进而难以在现场合适地评估传感器能力。常见的挑战包括如何以MEMS IMU所需的数据速率进行时间同步的数据采集，从而充分发挥其性能并进行有效的数字后处理。计算平台循环速度可能很慢（低至10 Hz），而且这些平台往往不支持传感器数据更新产生中断来及时获取数据。本文介绍了...
    英飞凌与马瑞利在2025上海车展展示MEMS激光束扫描技术， 携手开启汽车座舱设计新纪元 2025年04月30日
    【2025年4月30日, 德国慕尼黑讯】 全球功率系统和物联网领域的半导体领导者英飞凌科技股份公司与全球顶尖汽车系统制造商马瑞利宣布联合推出创新的MEMS激光束扫描（LBS）系统，共同推进汽车显示技术的发展 。这一基于英飞凌LBS技术的解决方案助力马瑞利突破传统显示屏的限制，创造沉浸式的座舱体验。这项前沿技术已在2025上海车展的马瑞利展台首次亮相。 英飞凌MEMS...

    推荐内容

    热门视频更多

    开源项目推荐更多

    热门文章更多

    电路图

    可能感兴趣器件

    完成课时学习+分/次

     
    EEWorld订阅号

     
    EEWorld服务号

     
    汽车开发圈

     
    机器人开发圈

    About Us 关于我们 客户服务 联系方式 器件索引 网站地图 最新更新 手机版 版权声明

    站点相关： 汽车电子 智能硬件

    北京市海淀区中关村大街18号B座15层1530室 电话:(010)82350740 邮编：100190

    电子工程世界版权所有 京B2-20211791 京ICP备10001474号-1 电信业务审批[2006]字第258号函 京公网安备 11010802033920号 Copyright © 2005-2025 EEWORLD.com.cn, Inc. All rights reserved