|
首页
|
电子技术
|
电子应用
|
电子头条
|
社区
|
论坛
测评
博客
电子技术视频
|
下载
|
电路图
|
参考设计
|
Datasheet
|
活动
|
直播
|
datasheet
datasheet
文章
搜索
中文
En
|
首页
|
电子技术
|
电子产品应用
|
电子头条
|
论坛
|
大学堂
|
下载
|
参考设计
|
Datasheet
|
活动
|
技术直播
|
datasheet
datasheet
文章
搜索
大学堂
上传课程
首页
课程
TI培训
直播频道
专题
相关活动
其他资源
下载中心
电路图
参考设计
您的位置:
EEWORLD大学堂
/
电路基础
/
MEMS与微系统
/
体微加工技术—时分复用深刻蚀
本课程为精品课,您可以登录eeworld继续观看:
体微加工技术—时分复用深刻蚀
登录
播放列表
课程目录
课程笔记
课时1:MEMS的定义
课时2:MEMS的应用领域
课时3:MEMS的发展
课时4:MEMS的发展(续)
课时5:应力和应变
课时6:弹性梁
课时7:弹性梁(续)
课时8:薄板与流体的基本概念
课时9:流体的基本概念(续)
课时10:静电力
课时11:尺寸效应
课时12:MEMS光刻技术
课时13:体微加工技术—各向同性湿法刻蚀
课时14:体微加工技术—各向异性湿法刻蚀
课时15:体微加工技术—各向异性湿法刻蚀(续)
课时16:体微加工技术—干法刻蚀
课时17:体微加工技术—时分复用深刻蚀
课时18:体微加工技术—稳态深刻蚀
课时19:体微加工技术—干法刻蚀设备与应用
课时20:表面微加工技术概述
课时21:表面微加工技术的几个问题
课时22:表面微加工代工工艺
课时23:表面微加工的应用
课时24:厚结构层技术
课时25:键合概述与直接键合
课时26:阳极键合与聚合物键合
课时27:金属键合与键合设备
课时28:工艺集成
课时29:系统集成
课时30:单芯片集成与多芯片集成
课时31:三维集成
课时32:MEMS封装
课时33:MEMS封装(续)
课时34:概述
课时35:压阻传感器
课时36:电容传感器与压电传感器
课时37:谐振传感器与遂穿传感器
课时38:压力传感器
课时39:压阻式压力传感器
课时40:压阻式压力传感器(续)
课时41:电容式压力传感器与谐振式压力传感器
课时42:硅微麦克风
课时43:惯性传感器与加速度传感器概述
课时44:压阻式与电容式加速度传感器
课时45:电容式与热传导式加速度传感器
课时46:微机械陀螺概述
课时47:典型微机械陀螺
课时48:典型微机械陀螺(续)
课时49:模态解耦合
课时50:执行器概述
课时51:静电执行器—平板电容执行器
课时52:静电执行器—平板电容执行器(续)
课时53:静电执行器—叉指电容执行器
课时54:热执行器
课时55:压电执行器和磁执行器
课时56:RF MEMS概述
课时57:MEMS开关I
课时58:MEMS开关II
课时59:MEMS开关III
课时60:MEMS谐振器—梳状谐振器
课时61:MEMS谐振器—板式谐振器
课时62:MEMS谐振器的制造
课时63:光学MEMS概述
课时64:MEMS光开关I
课时65:MEMS光开关II
课时66:影像再现I—反射器件
课时67:影像再现II—衍射器件
课时68:影像再现III—干涉器件
课时69:概述
课时70:软光刻技术
课时71:微流体输运
课时72:微流体输运(续)
课时73:试样处理
课时74:试样处理(续)
课时75:检测技术
课时76:微流体应用
课时77:微流体应用(续)
课时78:概述
课时79:药物释放 神经探针 生物传感器
课时80:可穿戴与可植入微系统
时长:14分15秒
日期:2017/11/28
收藏视频
上传者:老白菜
去评论
课程介绍
相关标签:
MEMS
清华
微系统
王喆垚
本课程全面介绍MEMS的基础理论、分析设计方法、制造技术、典型产品和器件,尝试通过本课程掌握微型化技术。课程内容包括基础力学与物理学、微加工技术、封装集成技术、传感器、执行器、RF MEMS、光学MEMS和BioMEMS与微流体。
课程强调设计与制造相结合、前沿与基础相结合;着重提取基础、重点和共性知识,强调基础理论和制造方法在不同领域的应用,并紧密结合前沿的学术研究和工业界的产品发展动态。
显示全部 ↓
推荐视频
用户评论
暂时无评论
猜您喜欢
推荐帖子
[转帖]彩电维修口诀彩电维修口诀
维修彩电并不难,工作原理记心间。操作小心要谨慎,注意人机要安全。市电与机要隔离,烙铁接地要妥善。翻动机板需断电,板下导体移侧边。工作条件电为首,凡事先测电源端。依据现象定范围,由简到繁细推堪。以下分项从头叙,请君从头仔细看。2.电源的检修行扫、电源故障繁,同是“三无”皆一般。断开负载接灯泡,故障范围就了然。故障若是在电源,先测整流输出端,若无三百(伏)查保险,保险已断别忙换整流桥堆有短路,滤波电容
电烙铁6号
家电维修集锦
发送消息出现问题
我在应用程序激活的对话框中用了void CQqDlg::OnTimer(UINT nIDEvent)函数和BOOL CQqDlg::PreTranslateMessage(MSG* pMsg) 函数,我想在定时器接受一个数值,当数值达到一个值时,不是从硬件上给PreTranslateMessage(MSG* pMsg)按键消息,而是想从定时器里直接给PreTranslateMessage(MSG*
aipingye
嵌入式系统
请教树莓派迅雷离线下载问题
[img]http://cache.amobbs.com/new2012/forum/201706/06/143159khbp0zy3703gh0ch.jpg.thumb.jpg[/img][backcolor=rgb(238, 238, 238)][font=Tahoma, Helvetica, SimSun, sans-serif][size=12px]如图,添加链接后点添加到远程下载,右下角
lidonglei1
Linux开发
PCB板子如何裁剪成圆弧角
大家好,本人萌新,第一次画板子,空白处是留给另一个同学画他的部分。现在老师要我把板子的四个直角变成以那四个过孔为中心R3.5的圆弧,我看了很多教程但是还是用不6,我按了1进入修改板子界面,但是教程说shift+space可以画圆弧,我按了没反应呀,求大神指教电源和地什么的等最后会再加粗若其余有什么地方可以改正的欢迎指点:congratulate:
AD钙奶
PCB设计
何谓霍尔效应?
一、霍尔效应的发现 霍尔效应是美国物理学家霍尔于1879年在研究金属的导电机制时发现的。当电流通过一个位于磁场中的导体的时候,导体中会产生一个与电流方向及磁场方向均垂直的电势差。且电势差的大小与磁感应强度的垂直分量及电流的大小成正比。在半导体中,霍尔效应更加明显。二、霍尔效应的原理 霍尔效应从本质上讲是运动的带电粒子在磁场中受洛仑兹力作用而引起的偏转。当带电粒子(电子或空穴)被约束在固体材料中
银河电气
传感器
Proteus 7.8汉化 破解版 免费下载
Proteus 7.8汉化 破解版 免费下载Proteus VSM 最新支持单片机CPU models for PIC24F04KA200, PIC24F04KA201, PIC24F08KA101, PIC24F08KA102, PIC24F16KA101, PIC24F16KA102VSM Studio* - an IDE for Proteus VSM that greatly simpli
zhengoogle
嵌入式系统
推荐文章
成本持续下探,自动驾驶MEMS组合导航系统迎来新升级?
2025年05月13日
完好性是指当定位系统异常、故障或超出误差允许范围限制时,在规定时间内向用户发出告警的能力。它与精度、连续性、可用性一并构成了卫星定位系统的四大核心性能指标。如果定位服务中存在异常、故障或误差超限,但系统未能成功检测该异常或发出告警,则意味着发生了“完好性风险事件”。一旦完好性风险事件发生,它将对用户产生安全威胁,特别是对于民航、海事、铁路等其他与生命安全高度相关的行业。...
优化导航系统中的MEMS IMU数据一致性和时序
2025年05月08日
摘要 对于初次尝试评估惯性检测解决方案的人来说,现有的计算和I/O资源可能会限制数据速率和同步功能,进而难以在现场合适地评估传感器能力。常见的挑战包括如何以MEMS IMU所需的数据速率进行时间同步的数据采集,从而充分发挥其性能并进行有效的数字后处理。计算平台循环速度可能很慢(低至10 Hz),而且这些平台往往不支持传感器数据更新产生中断来及时获取数据。本文介绍了...
英飞凌与马瑞利在2025上海车展展示MEMS激光束扫描技术, 携手开启汽车座舱设计新纪元
2025年04月30日
【2025年4月30日, 德国慕尼黑讯】 全球功率系统和物联网领域的半导体领导者英飞凌科技股份公司与全球顶尖汽车系统制造商马瑞利宣布联合推出创新的MEMS激光束扫描(LBS)系统,共同推进汽车显示技术的发展 。这一基于英飞凌LBS技术的解决方案助力马瑞利突破传统显示屏的限制,创造沉浸式的座舱体验。这项前沿技术已在2025上海车展的马瑞利展台首次亮相。 英飞凌MEMS...
MEMS传感器在高频振动监测中的关键技术研究
2025年04月21日
在当前工业4.0与智能制造蓬勃发展的背景下,设备状态监测与故障预测已成为保障生产安全、提升运行效率的核心环节。高频振动监测作为设备健康评估的关键技术,其精度与实时性直接影响着维护决策的可靠性。MEMS(微机电系统)传感器凭借微型化、集成化、高灵敏度等优势,在高频振动监测领域展现出独特的技术价值。本文将围绕MEMS传感器在高频振动监测中的关键技术展开深入研究,探讨其技术原理、性...
推荐内容
热门视频
更多
LabVIEW 网络讲堂 第一季
村田顽童的堂妹“村田少女”问世 1
村田顽童的堂妹“村田少女”问世 3
当MIPS碰上Android
比尔·盖茨在微软的最后一天——盖茨携好莱坞巨星出演搞笑片
霍尔效应设备及连接方式
基础教程: 理解数据采样系统
基础教程:运算放大器和专用放大器的应用和常识
MPLAB 代码配置器实验2
MPLAB®代码配置器简介及实验1
开源项目推荐
更多
EVAL-AD5362EBZ,AD5362 评估板,16 位,8 通道,用于自动测试设备
用于编程欠压锁定的 LT3066EMSE 线性稳压器的典型应用电路
FMC-ADC01-4-1-0,用于 ADS6425、12 位、4 通道、125 MSPS 模数转换器的 FPGA 夹层卡
TB67S215FTAG 2 相双极步进电机驱动器评估板
MC78M15ACDTG 15V 升压稳压器的典型应用
ETA3000+BM3451锂电池保护均衡
RT7258 8A、24V、600kHz 降压转换器的典型应用,具有用于 SOP-8(裸露焊盘)封装的同步栅极驱动器
USB充电加升压输出电路
用于电缆调制解调器的 20V DC 至 DC 单路输出电源
LTC4218CGN/LTC4218CDHC-12 演示板,2.9V 至 26.5V 正热插拔控制器
热门文章
更多
Android 12版有望在10月4日推出
单只按键控制单只数码管滚动显示
STM32HAL库使用DAC输出任意指定电压
大唐恩智浦:电池管理芯片创新,引领新能源行业变革
瑞萨电子与Sequans达成进一步深入合作计划
瑞萨电子发布全新RZ/T2L工业用MPU 可通过EtherCAT通信实现快速、准确的实时控制
VASS KUKA电伺服焊钳的SG_Background控制
混合压缩/内置自我测试解决方案的应用优势分析
电路图
全新Microchip蓝牙®音频SoC,你知道吗?
NE555倍压电路,升压电路
OFDM调制系统的实例
自激间歇振荡器实用电路b
电源及保护电路(b)
电流-电压转换电路图
使用音乐IC的触摸式延迟灯电路
过塑机控制电路
STK1030功率放大器电路图
香雪海牌BCD-162、BCD-181、BCD-194、BCD-208型电冰箱电路
基极调幅电路
电话与录音机接口电路02
可调频率范围为10:1振荡器.gif
驱动双40W灯管的电子镇流器电路图
2的补码输入十进制显示电路
涡电流法的膜厚检测电路
N2分之一分频器
中巴车共线传呼电路
LCD触摸屏接口电路
胆机CS8412+PCM63经典设计电路图
GEL-Cell Charger Circuit
1098I型可编程微电脑锁相调频发射机电路图
BT1074B单片900MHz RF收发器
TA7270P功放电路
555线性电压/频率变换器电路(四)
采用光敏电阻(LDR)的光控开关电路
高性能复合放大电路
820e电脑主板电路图_11
电脑主板电路图 820 1_67
可能感兴趣器件
V23148-A0003B101
535-9088-1-ND
72815LB25PF8
YTW-39-02-T-Q-120-215
7M-50000MAAE-T
HTCR1206P-4M22FT3
ESQ-128-37-S-D-LL
1210Y1000472FCR
ERJ-U12D5232U
56-523-010
Y4024360R000T9W
467-5110-E24
MCER1-40S6G5-0.5
P7-3318-SB-03
HCHP1020L1654FBT
VJ1812Y392KXBAT
HTSHCP-207-D-06-327-H
M80-4T12805F3-07-322-12-321
HTS201X7R285L3N3
VJ1206A472KNAAJ2L
SON-N959-07-2292-BQ
ABM82-75.000MHZ-6-B7X
RTX255762FDE4
CS0603-16NG-N
CRCW08054K02FKBA
CMF1206152R+-0.25%TCR15
BCX493TA
L2-03600X-F-B-C-A-99-X-X
FP20216152611BHBF
RN73G1J45R9A
电子工程世界版权所有
京B2-20211791
京ICP备10001474号-1
电信业务审批[2006]字第258号函
京公网安备 11010802033920号
Copyright © 2005-2025 EEWORLD.com.cn, Inc. All rights reserved
用户评论