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微电子工艺(哈尔滨工业大学)

集成电路 微电子 共110课时 11小时37分37秒
简介

本课程是“电子信息科学与技术”、“微电子科学与工程”等专业的核心课程。全面系统地介绍了微电子工艺基础知识,重点阐述了芯片制造单项工艺,包括:外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备,以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解,为后续专业课程学习打下坚实基础。也利于学生专业素养的提高。

本课程特色在于对关键工艺所依托的理化基础知识进行了阐述,并通过实验视频对关键工艺参数测试技术也进行了介绍。


使学习者掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途;熟悉主要工艺设备及检测仪器;了解典型集成电路芯片的制造流程。

课程目录
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讲师简介

王蔚 哈尔滨工业大学 - 教授级高工,主讲“微电子工艺”、“纳米技术”等多门课程。

田丽哈 尔滨工业大学 - 教授级高工, 讲授微电子工艺、生物芯片、微纳米技术等专业课,研究兴趣包括微流控芯片、BioMEMS传感器与执行器等领域。以第一/二作者发表论文三十余篇,已授权发明专利七项。

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