工艺集成--金属化之尖楔现象-微电子工艺(哈尔滨工业大学)-EEWORLD大学堂

课程介绍

相关标签：集成电路微电子

本课程是“电子信息科学与技术”、“微电子科学与工程”等专业的核心课程。全面系统地介绍了微电子工艺基础知识，重点阐述了芯片制造单项工艺，包括：外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备，以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解，为后续专业课程学习打下坚实基础。也利于学生专业素养的提高。

本课程特色在于对关键工艺所依托的理化基础知识进行了阐述，并通过实验视频对关键工艺参数测试技术也进行了介绍。

使学习者掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途；熟悉主要工艺设备及检测仪器；了解典型集成电路芯片的制造流程。

显示全部 ↓

用户评论

暂时无评论

猜您喜欢

推荐帖子

atmel /AVR单片机Atmega 128如何做一个回显？及有没有相关资料？: atmel /AVR单片机Atmega 128如何做一个回显？及有没有相关资料？atmel /AVR单片机Atmega 128如何做一个回显？及有没有相关资料？atmel /AVR单片机Atmega 128如何做一个回显？及有没有相关资料？求教各位大神。; 菜00財 Microchip MCU

想DIY一个鼠标，位移量和按键用单片机给数据。做过的前辈还请指导一下: 如题。想DIY一个鼠标，位移量和按键用单片机给数据。做过的前辈还请指导一下用单片机控制 DIY的鼠标，位移量和按键可以自己用单片机发送和设定。不知道怎么入手，还请知道的前辈指导一下，感激不尽！; 风中嚣人 51单片机

在CE5下运行的应用程序窗口自动消失: 大家好:遇到个怪问题,开发板通过串口PC机通讯,开发板上跑CE5.0,使用SQLCE数据库,不知道为什么,运行一段时间后,程序窗口就消失了,但是串口还是被占用的,因为在去启动程序时,提示串口被占用?而且数据也在被使用的状态下.程序是用EVC写的,对于这种问题有什么建议呢?; zhousw08 嵌入式系统

Spartan-6 FPGA 嵌入式套件试用（三）---key and led: 这里实现的功能使用板载的key来控制led，其实也是很简单的东西，本来不想写的，但是对于fpga来说，输入和输出是典型的两个方面。Key和led又是这两个方面的典型应用，简单是简单了点，就当给大家做个演示吧。ucf文件的内容如下NET "led0" LOC = D17;NET "led1" LOC = AB4;NET "led2" LOC = D21;NET "led3" LOC = W15;NE; chenzhufly FPGA/CPLD

请问AD中，CD4093原理图符号报错的问题: CD4093管脚图如上。然后原理图封装用了4个子部件：实际原理图设计连线编译后出现报错：请问4个子部件到底只有其中一个标电源和地，还是4个都要画上电源和地引脚符号。可是2种都会出错什么原因？谢谢类似LM358运放2个子部件都加上电源和地符号都不会报错。; stm32f103vct6 PCB设计

PC817A—C 光电耦合器: PC817A—C 光电耦合器分为两种：一种为非线性光耦，另一种为线性光耦。非线性光耦的电流传输特性曲线是非线性的，这类光耦适合于开关信号的传输，不适合于传输模拟量。常用的4N系列光耦属于非线性光耦。线性光耦的电流传输特性曲线接近直线，并且小信号时性能较好，能以线性特性进行隔离控制。常用的线性光耦是PC817A—C系列。开关电源中常用的光耦是线性光耦。如果使用非线性光耦，有可能使振荡波形; tonytong 电源技术

大学堂

您的位置：EEWORLD大学堂 / 电路基础 / 微电子工艺(哈尔滨工业大学) / 工艺集成--金属化之尖楔现象

推荐视频

用户评论

推荐内容

热门视频更多

开源项目推荐更多

热门文章更多