CVD工艺方法-4PE-5HDP（新）-微电子工艺(哈尔滨工业大学)-EEWORLD大学堂

课程介绍

相关标签：集成电路微电子

本课程是“电子信息科学与技术”、“微电子科学与工程”等专业的核心课程。全面系统地介绍了微电子工艺基础知识，重点阐述了芯片制造单项工艺，包括：外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备，以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解，为后续专业课程学习打下坚实基础。也利于学生专业素养的提高。

本课程特色在于对关键工艺所依托的理化基础知识进行了阐述，并通过实验视频对关键工艺参数测试技术也进行了介绍。

使学习者掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途；熟悉主要工艺设备及检测仪器；了解典型集成电路芯片的制造流程。

猜您喜欢

推荐帖子

CC4082------双4 输入与门: CC4082单片机本文很详细的介绍了双4输入与门电路的详细过程，一直从基础讲到是本电子书的特色; rain 单片机

对比方案赛+蓝牙车载电源提升效率！: [align=left][font=宋体]对比方案赛[/font]+[font=宋体]蓝牙车载电源提升效率！[/font][/align][align=left][font=宋体]这次主要对比一款降压电源[/font],[font=宋体]是一家国际知名品牌的[/font]34063与 TI LM25010:[/align][align=left]1.先对一下他们的FEATURE LIST[/ali; samhuang8204 模拟与混合信号

繁忙的一天又开始了；: 10.22 繁忙的一天又开始了；; hchen 聊聊、笑笑、闹闹

nor flash nand flash问题大家指教。: 现在马上要做一个东西，就是以前的板子上是nor+nand flash的方式，现在只用nand flash做uboot、kernel 文件系统。请问我要怎样做，才能把uboot、kernel、文件系统都烧到只有nand flash的板子上并让他运行，并没问题。请问我要怎么入手做这个东西，要了解些什么，其中会遇到什么问题，怎么解决。小弟以前没弄过这个，哪位做过或知道怎么做的高人给指点指点，引引路。谢谢; beyondaymk 嵌入式系统

蓝牙和MSP430音频信宿参考设计: [p=30, null, left][color=rgb(34, 34, 34)][font=&quot][font=Verdana][size=3]　[b]描述[/b][/size][/font][/font][/color][/p][p=30, null, left][color=rgb(34, 34, 34)][font=&quot][font=Verdana][size=3]　　TI 的蓝; Aguilera 微控制器 MCU

全国大学生电子设计大赛历年题目: [i=s] 本帖最后由 paulhyde 于 2014-9-15 09:17 编辑 [/i]全国大学生电子设计大赛历年题目分享吧; lhaiyang1316 电子竞赛

大学堂

您的位置：EEWORLD大学堂 / 电路基础 / 微电子工艺(哈尔滨工业大学) / CVD工艺方法-4PE-5HDP（新）

推荐视频

推荐内容

热门视频更多

开源项目推荐更多

热门文章更多