单晶生长-MCZ与FZ法-微电子工艺(哈尔滨工业大学)-EEWORLD大学堂

课程介绍

相关标签：集成电路微电子

本课程是“电子信息科学与技术”、“微电子科学与工程”等专业的核心课程。全面系统地介绍了微电子工艺基础知识，重点阐述了芯片制造单项工艺，包括：外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备，以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解，为后续专业课程学习打下坚实基础。也利于学生专业素养的提高。

本课程特色在于对关键工艺所依托的理化基础知识进行了阐述，并通过实验视频对关键工艺参数测试技术也进行了介绍。

使学习者掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途；熟悉主要工艺设备及检测仪器；了解典型集成电路芯片的制造流程。

猜您喜欢

推荐帖子

被一个烧掉的51坑了: 给51单片机通上电，结果稳压芯片烧了，一共烧了俩，用万用表一测才知道vcc和gnd导通了{:1_133:}; freeyounger 51单片机

那些可能火爆2016年工业应用的传感器“芯”品盘点: [align=left]“传感器在工业4.0和物联网的时代变得越发重要，包括汽车、智能工厂、工业自动化等领域都离不开各类传感器进行数据采集。”德州仪器模拟产品业务拓展经理朱文斌表示。“德州仪器在传感领域耕耘了超过50年历史，拥有最全最多的传感器种类。比如TI是业界首家发布温度传感器的公司，目前在售的种类有130多种，此外还包括红外单片温湿度传感器、化学传感器模拟前端、抗噪电容式感应芯片以及DLP等; maylove 模拟与混合信号

工程师必备——常用电子元器件资料（焊接工艺）: 有感于大家需要，共享下！内容包括电子设计时经常会碰到的电气图形符号，常用电子元器件型号命名法及主要技术参数，电阻器和电位器的型号命名方法，主要技术指标，电阻器的标志内容及方法，……; gauson 测试/测量

EVC下如何将一个CString类型转换成一个double类型？: CString　str;str=L"111.111";现在我想把这个CString类型变量的字符串变成double类型请问我该怎么做？; 天涯浪客嵌入式系统

微型摄像机监控的主要技术指标: [color=black]1. CCD尺寸，亦即[/color][color=black]微型摄像机[/color][color=black]靶面。原多为1/2英寸，现在1/3英寸的已普及化，1/4英寸和1/5英寸也已商品化。2. CCD微型摄像机像素，是CCD的主要性能指标，它决定了显示图像的清晰程度，分辨率越高，图像细节的表现越好。CCD是由面阵感光元素组成，每一个元素称为像素，像素越多，图像; lolo 工业自动化与控制

空气伞无形的保护层: 这款概念雨伞采用压缩空气作为遮雨部件。通过调整伞柄的控制按钮，您可以自如控制、调整雨伞的空气伞直径。这样一来，伞的部件便只剩下一支伞柄，而您也不用再为雨天撑伞进入室内，弄湿地板而发愁了！; wljmm 创意市集

大学堂

您的位置：EEWORLD大学堂 / 电路基础 / 微电子工艺(哈尔滨工业大学) / 单晶生长-MCZ与FZ法

推荐视频

推荐内容

热门视频更多

开源项目推荐更多

热门文章更多