离子注入原理-1-微电子工艺(哈尔滨工业大学)-EEWORLD大学堂

课程介绍

相关标签：集成电路微电子

本课程是“电子信息科学与技术”、“微电子科学与工程”等专业的核心课程。全面系统地介绍了微电子工艺基础知识，重点阐述了芯片制造单项工艺，包括：外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备，以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解，为后续专业课程学习打下坚实基础。也利于学生专业素养的提高。

本课程特色在于对关键工艺所依托的理化基础知识进行了阐述，并通过实验视频对关键工艺参数测试技术也进行了介绍。

使学习者掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途；熟悉主要工艺设备及检测仪器；了解典型集成电路芯片的制造流程。

猜您喜欢

推荐帖子

黑龙江科技大学这是要逆天啊！: [i=s] 本帖最后由 paulhyde 于 2014-9-15 03:03 编辑 [/i]黑龙江科技大学这是要逆天啊！; 18246193969 电子竞赛

大家帮忙看看这几个电容换大点的行不: 参考LAUNCHPAD里面的电路做的板子，但手头上没有这种容量的电容，换成47UF的会不会有影响？？？？; jetlin1992 微控制器 MCU

用f149显示图片；我程序那里有问题；求大虾指点: //********************************************************************//12864图像显示//********************************************************************#include#define CPU_F ((double)8000000)#define de; 恩施牧童1991 微控制器 MCU

顶层模块调用底层模块的端口信号，仿真时出错~~~: 设计的是三个层次的模块，顶层模块topcpu.v，中间模块cpu.v，底层模块adr.v我在topcpu.v中调用adr的端口信号pc_addr，仿真的时候出错：Unresolved reference to 'm_adr' in t_cpu.m_adr.这是我的调用语句 while(test==1)@(t_cpu.m_adr.pc_addr)//fixedif((t_cpu.m_adr.pc_a; pxpwoa FPGA/CPLD

【CH554免费评测后续改进】CH554评估板改进内容汇总: [i=s] 本帖最后由沁恒USB单片机于 2018-2-26 15:51 编辑 [/i][p=30, 2, left][font=黑体][size=3]各位网友大家好，针对之前的免费申请CH554评估板的评测活动：[/size][/font][url=https://bbs.eeworld.com.cn/forum.php?mod=viewthread&tid=555066&highlight; 沁恒USB单片机单片机

VS2005 VS2008 Mobile5PPC: 机器上同时安装VS2005、VS2008，在安装Mobile5PPC SDK时，总是关联到VS2008。怎样才能关联到VS2005; zhao123ou 嵌入式系统

大学堂

您的位置：EEWORLD大学堂 / 电路基础 / 微电子工艺(哈尔滨工业大学) / 离子注入原理-1

推荐视频

推荐内容

热门视频更多

开源项目推荐更多

热门文章更多