设备与工艺-微电子工艺(哈尔滨工业大学)-EEWORLD大学堂

课程介绍

相关标签：集成电路微电子

本课程是“电子信息科学与技术”、“微电子科学与工程”等专业的核心课程。全面系统地介绍了微电子工艺基础知识，重点阐述了芯片制造单项工艺，包括：外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备，以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解，为后续专业课程学习打下坚实基础。也利于学生专业素养的提高。

本课程特色在于对关键工艺所依托的理化基础知识进行了阐述，并通过实验视频对关键工艺参数测试技术也进行了介绍。

使学习者掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途；熟悉主要工艺设备及检测仪器；了解典型集成电路芯片的制造流程。

猜您喜欢

推荐帖子

你使用的51单片机型号与使用的开发环境: 辛昕 51单片机

PCB和电子产品设计: PCB和电子产品设计在电子设计中，PCB是我们设计内容的物理载体，所有我们设计意图的最终实现就是通过PCB板来表现的。这样PCB设计在任何项目中是不可缺少的一个环节。但在以前的设计中，由于频率很低，密度很小，器件的管教间的间距很大，PCB设计的工作是以连通为目的的，没有任何其他功能和性能的挑战。所以在很长的一段时间里，PCB设计在整个项目中的地位是很低的。通常是由硬件逻辑连接设计人员来进行PCB; fighting 模拟电子

华芯微特32位MCU，SWM320库函数指南，可替代STM32的库函数开发指南: [i=s] 本帖最后由陈韶华于 2018-7-11 19:40 编辑 [/i]国产32位MCU华芯微特SWM库函数指南，前几天的开发板就是基于这个微控制器的，移植了RT-Thread和MicroPython，朋友们在用MPY编程之余也可以尝试一下库函数编程开发，并贴出几个入门例程分享一下，下面上传库函数指南，和SWM320例程; 陈韶华 MicroPython开源版块

有谁能解释下NK.ROM吗: 我记得在做ARM9 S3C2410/S3C2440的BSP时，生成是NK.BIN和NK.NB0.但现在做ARM11 tcc8900时,生成是NK.ROM.哪位大哥能解释下吗？; stingxing 嵌入式系统

关于“PIC开发环境”: http://sanhengxing.com/xzindex.asp的资源下载，各位兄弟有要的吗？; ge11232002 Microchip MCU

FPGA_100天之旅_锁相环: FPGA_100天之旅_锁相环.pdf; zxopenljx FPGA/CPLD

大学堂

您的位置：EEWORLD大学堂 / 电路基础 / 微电子工艺(哈尔滨工业大学) / 设备与工艺

推荐视频

推荐内容

热门视频更多

开源项目推荐更多

热门文章更多