CVD工艺方法-3等离子体(上）-微电子工艺(哈尔滨工业大学)-EEWORLD大学堂

课程介绍

相关标签：集成电路微电子

本课程是“电子信息科学与技术”、“微电子科学与工程”等专业的核心课程。全面系统地介绍了微电子工艺基础知识，重点阐述了芯片制造单项工艺，包括：外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备，以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解，为后续专业课程学习打下坚实基础。也利于学生专业素养的提高。

本课程特色在于对关键工艺所依托的理化基础知识进行了阐述，并通过实验视频对关键工艺参数测试技术也进行了介绍。

使学习者掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途；熟悉主要工艺设备及检测仪器；了解典型集成电路芯片的制造流程。

显示全部 ↓

用户评论

暂时无评论

猜您喜欢

推荐帖子

第一次发帖,顺便散分。: 很是奇怪，好友管理中的“批准申请”总是提示“您目前没有权限进行此操作”，这是为什么呢？有N个请求被忽略了，很抱歉。还有N个请求被等待，很无奈。; mintmsn 嵌入式系统

可穿戴设备将引爆无线充电市场: [align=left][color=rgb(62,62,62)][backcolor=rgb(255, 255, 255)]作者Landa Culberson，贸泽电子[/backcolor][/color][/align][align=left][color=rgb(62,62,62)][backcolor=rgb(255, 255, 255)][/backcolor][/color][/al; fish001 无线连接

EEWORLD大学堂----HPC开发套件-TI 高性能计算软件开发套件介绍: HPC开发套件-TI 高性能计算软件开发套件介绍：https://training.eeworld.com.cn/course/257本课程共分4部分 1. TI 高性能计算开发套件基本介绍高性能计算集群(HPC)采用将计算任务分配到集群的不同计算节点而提高计算能力，因而主要应用在科学计算领域。HPC系统特别适合于在计算中各计算节点之间发生大量数据通讯的计算作业。本次课程介绍了基于TI Keys; chenyy DSP 与 ARM 处理器

想问下F6638除了用户指南和数据表有其他材料吗？: 比如我想找SR的复位状态呢，各个手册只提到进行复位，但没有说过具体各位如何:congratulate:; 尚未初始化微控制器 MCU

EEWORLD大学堂----易电源新传之LMZ3: 易电源新传之LMZ3：https://training.eeworld.com.cn/course/135; zhangjianee 电源技术

单片机入门书: 单片机入门书; 呱呱单片机

大学堂

您的位置：EEWORLD大学堂 / 电路基础 / 微电子工艺(哈尔滨工业大学) / CVD工艺方法-3等离子体(上）

推荐视频

用户评论

推荐内容

热门视频更多

开源项目推荐更多

热门文章更多