CVD工艺方法-3等离子体(上）-微电子工艺(哈尔滨工业大学)-EEWORLD大学堂

课程介绍

相关标签：集成电路微电子

本课程是“电子信息科学与技术”、“微电子科学与工程”等专业的核心课程。全面系统地介绍了微电子工艺基础知识，重点阐述了芯片制造单项工艺，包括：外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备，以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解，为后续专业课程学习打下坚实基础。也利于学生专业素养的提高。

本课程特色在于对关键工艺所依托的理化基础知识进行了阐述，并通过实验视频对关键工艺参数测试技术也进行了介绍。

使学习者掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途；熟悉主要工艺设备及检测仪器；了解典型集成电路芯片的制造流程。

猜您喜欢

推荐帖子

三极管和MOS管组成的电源指示电路怎么理解？: [i=s] 本帖最后由 lingking 于 2018-12-10 15:46 编辑 [/i]如图所示，这个电路的大概功能是系统上电之后LED被点亮，指示系统已经上电。可是旁边的三极管的作用是什么，这个电路是怎么工作的; lingking 模拟电子

快过年了，大家都发年终奖了么？: 年底是收获的时候，平时的月光族，年底时或多或少都可以收获一些银子，存起来。你们公司的年终奖政策是啥？多少呢？:); yaoniming3k 工作这点儿事

这个8脚IC是什么IC？: 各位老师，小弟的一个灯具内变压器是这个图，那个IC字去掉了，不知道是什么IC，现在坏了，想修复，我查了其它元件都是好的，很可能是那个IC坏了，那个灯具又很贵，丢了可惜，想把它修复请教大家了！！; MCS51 LED专区

STlink易坏: 各位大虾，你们有没有发现ST-Link特别容易坏啊！！我们这边跟ST申请了6个仿真器，先后都坏了，现象完全相同，显示“chip does not answer”！！！有人说是前面的那块小芯片坏了，但是我换了之后还是一样，你们是不是也有同样的问题，有没有什么好的办法》？？？; lhuahua stm32/stm8

求猫和老鼠下载链接！: 小孩10岁，最近看猫和老鼠都看疯了，而且还在重复的看，手机上。在网上没找到，因此，来这里求助！非常感谢！; yhyworld 聊聊、笑笑、闹闹

gdb调试时怎样用watch 来看变量值: #includemain(){void my_print(char *string );void my_print(char *string );char string[]="hello world ";my_print(string);my_print1(string);}void my_print(char *string){printf("The string is %s",string);; xinzhuochen Linux开发

大学堂

您的位置：EEWORLD大学堂 / 电路基础 / 微电子工艺(哈尔滨工业大学) / CVD工艺方法-3等离子体(上）

推荐视频

推荐内容

热门视频更多

开源项目推荐更多

热门文章更多